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  • 精密溫度自動(dòng)控制儀

精密溫度自動(dòng)控制儀

簡(jiǎn)要描述:DWT-702精密溫度自動(dòng)控制儀適用于晶體管、固體集成電路、可控硅元件等半導(dǎo)體制造過(guò)程中各種外延、燒結(jié)和擴(kuò)散等工藝,也適用于各種晶體生長(zhǎng)、拉單晶等工藝。能對(duì)電阻性負(fù)載的各種電加熱爐能提供長(zhǎng)時(shí)間連續(xù)性的高精度溫度自動(dòng)控制。

  • 產(chǎn)品型號(hào):DWT-702
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間:2024-10-02
  • 訪  問(wèn)  量:1998
詳細(xì)介紹

 

DWT-702精密溫度自動(dòng)控制儀適用于晶體管、固體集成電路、可控硅元件等半導(dǎo)體制造過(guò)程中各種外延、燒結(jié)和擴(kuò)散等工藝,也適用于各種晶體生長(zhǎng)、拉單晶等工藝。能對(duì)電阻性負(fù)載的各種電加熱爐能提供長(zhǎng)時(shí)間連續(xù)性的高精度溫度自動(dòng)控制。

型     式:   盤裝式、便攜式

設(shè)定范圍: O~19.999mV一配用熱電偶 S(LB-3)

           O~59.999mV一配用熱電偶K (EU_2)

設(shè)定精度   0.3級(jí)

設(shè)定方式:五位十進(jìn)數(shù)定拔盤

調(diào)節(jié)精度: ±O.1%

放大器時(shí)漂: ≤4μV/24小時(shí)

PID調(diào)節(jié)器參數(shù):P:2~250%       連續(xù)可調(diào)

               I:O.5~10分鐘    連續(xù)可調(diào)

               D:O~3分鐘       連續(xù)可調(diào)

輸出信號(hào):移相脈沖,幅值>3V  寬度>30μs(20Ω負(fù)載)

移相范圍:每交流半周>150℃

數(shù)偶保護(hù):斷偶時(shí),偏差指示為正偏差,調(diào)節(jié)器輸出為零,儀表無(wú)輸出

抗干擾性:縱向220V50Hz:橫向5mV

工作環(huán)境:溫度為0~40℃相對(duì)濕度不超過(guò)

          85%RH的無(wú)腐蝕性氣體的場(chǎng)合

大氣壓力:860~1060mbar

電    源:220V.AC±10%50Hz

重    量:約6.5kg

 

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